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Разработка автоматизированной системы управления вакуумным технологическим оборудованием линейного типа
Супрунюк А.
системы
управления
рис
вто
оператора
откачки
камеры
транспортной
технологических
типа
загрузки
каждой
камер
кареток
линейного
параметров
камере
клапаны
каретки
машины
низковакуумной
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разгрузки
разработки
система
технологического
plc1.1
арм
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движения
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машиностроение
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устройств
plc1.2
wago
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