Исследование топографии поверхностных твердых тел методом атомно-силовой микроскопии в неконтактном режиме: Описание лабораторной работы

В данной лабораторной работе рассматриваются физические принципы работы сканирующего атомного силового микроскопа в неконтактном режиме и методика исследования топографии поверхности твердых тел в нанометровом масштабе методом неконтактной атомно-силовой микроскопии. Предназначено для студентов старших курсов и магистратуры физического факультета, обучающихся по специальностям ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'' и ''Физика полупроводников. Микроэлектроника'', направление специализации - ''Физика твердотельных наноструктур''. Пособие подготовлено в рамках работ по проекту ''Научно-образовательный центр Физика твердотельных наноструктур Нижегородского государственного университета им. Н.И.Лобачевского'' Российско-американской программы ''Фундаментальные исследования и высшее образование''